埃纳膜iCVD设备走进北京大学

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北京大学引入埃纳膜iCVD设备 开启有机纳米材料新篇章

2024年7月,埃纳膜科技的iCVD(引发式化学气相沉积,型号:iCV-RME16)设备正式交付北京大学材料学院,并完成调试,投入使用。作为北京大学首台iCVD设备,标志着我国在纳米级有机材料制备及应用领进入新的阶段,为新型纳米器件的开发及基础科学研究提供了关键支撑。

北京大学材料学院长期致力于新型材料的合成与器件化应用,此次引入国产iCVD设备进一步推进有机纳米材料在半导体领域的发展。

产学研协同突破”卡脖子”难题

此次合作实现了设备工艺与科研需求的深度适配,埃纳膜将持续优化智能控制系统,推动iCVD技术标准化和产业化。