iNAFIPrC

iNAFIPrC™

iNAF自研的CVDWinPrC™过程控制软件，为薄膜沉积提供全自动的软硬件支持：
1. 系统支持预设实验参数的全自运形；
2. 系统可自动记录数据，并以图形方式显示选所有参数的时间相关值；
3. iNAFIPrC™允许用户加载预编程配方，修改、检查和创建新配方；
4. 查看实时或保存的过程数据。